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非觸式微區形貌測試系統（OSP）
Uniscan M470 微區掃描電化學工作站出色的性能：
1、快速精準的閉環定位系統為電化學掃描探針納米級研究的需求而特別設計。
2、結合Uniscan 獨特的混合型32-bit DAC技術，用戶可以選擇合適實驗研究的最佳配置。
3、先進和靈活的工作平臺。
4、系統可提供9種探針技術，使得M470成為全球最靈活的電化學掃描灘鎮工作平臺。
5、全面的附件。
6、7種模塊可選，3種不同電解池，各式探針，長距顯微鏡以及后處理數據分析軟件。
Uniscan M470 微區掃描電化學工作站特征：
1、SECM自動處理曲線
2、SECM用戶自定義處理曲線步長變化
3、高分辨率讀取
5、手動或自動調節相位
Uniscan M470 微區掃描電化學工作站同時具備如下特點：
1、傾斜校正.
2、X或Y曲線相減（5階多項式）。
3、2D或3D快速傅里葉變化。
4、實驗，探針移動和區域繪圖的自動排序。
5、圖形實驗測序引擎（GESE）。
6、支持多區域掃描。
7、所有實驗多個數據視圖。
8、峰值分析。
Uniscan M470 微區掃描電化學工作站是由Uniscan儀器開發的第四代掃描探針系統，具有更高規格和更多探針技術。
Uniscan M470 微區掃描電化學工作站技術參數
工作站（所有技術）
掃描范圍（x,y,z）：大于100mm
掃描驅動分辨率 ：最高0.1nm
閉環定位：線性零滯后編碼器，直接實時讀出x,z和y位移
軸分辨率（x,y,z）：20nm
最大掃描速度：12.5mm/s
測量分辨率 ：32-bit解碼器@高達40MHz
壓電（ic-和ac-掃描探針技術）
振動范圍：20nm~ 2μm峰與峰之間1nm增量
最小振動分辨率：0.12nm(16-bit DAC,4μm)
壓電晶體伸展：100μm
定位分辨率 ：0.09nm(20-bit DAC ,100μm)
機電
掃描前端：500×420×675mm(H×W×D)
掃描控制單元：275×450×400mm(H×W×D)
功率：250W
