M470微區掃描電化學工作站實驗開始前，調整、檢查樣品的時間往往很長。如果可以在噪聲信號中增強數據信號并收集數據信號，可以大大減少時間投入，這樣的話，實驗就會變得更快、更簡略。本文介紹了四個即時有效的數據處理的方法，可以用于那些為了縮短實驗時間而進行的快速掃描獲得的實驗數據。本文演示的是一個不是特別水平的SKP樣品，設備沒有設置成提取有效數據的狀態，實驗結果很糟糕。處理后的數據顯示在掃描中心附近有一個小壓痕。為了進行比較，還做了進一步的檢查。
標準SKP樣品安裝到TriCell電解池中，為了演示，只對樣品粗略調平。SKP探針距樣品約160?m（正常實驗中應為100?m），做一個快速的CHM實驗。掃描速率為2mm/s，沒有延遲，沒有調節時間。設置盡量少的濾波，允許所有信號和噪聲通過。在5mm2的面積上掃51*51個點（總共2601個點），實驗時間4分48秒。結果如圖1所示。
圖1 左圖：25mm2的原始快速實驗結果；右圖：右鍵分析菜單
圖1中可見，沒有任何特別的點。然而，應用分析功能“Tilt Correction”、“Filter”、“Curve Subtraction”、“Interpolate”后，實驗結果馬上變得很明顯，如圖2所示。
圖2 分析功能的應用
圖2中，左上角的圖是用“Tilt-Correction”分析后的結果。這個選項可以找出用戶所選數據中的最適合的平坦區，然后從數據中去除這個平坦區。
數據調平后，采用“Filter”分析，得到如圖2右上角的數據。“Fourier-filters”要求用戶輸入濾波器的類型（這里選低通）、截止頻率、退出。這里，通過數據檢查，確定截止頻率。濾波器的截止頻率約4000m-1。濾波器階數設置為5。
傅里葉濾波使上下邊更圓潤，選擇“Curve Subtraction”。設置一個最合適的多項式來選擇數據。這里用一個四次多項式來移除Y軸上的朝上的數據邊緣。結果如圖2左下所示。
最后，減去曲線后的數據從51*51個點插補為201*201個點，結果如圖2右下圖和圖3左圖所示。
為了對比，調平樣品，更恰當地設置系統。兩種結果的并列比較如圖3所示。
圖3 左圖：噪聲快速掃描數據，后處理；右圖：較慢的、更多考慮后獲得的數據
圖3左圖，數據與圖2右下圖是一樣的。數據是有噪聲下獲得的，樣品未調平。實驗時間4分48秒。圖3右圖，樣品調平，數據在非常慢速下獲得。實驗時間21分52秒。連續掃描更慢（400?m/s，而不是2000?m/s），步長更小（62.5?m，而不是100?m）。
本文展示了M370和微區掃描電化學工作站微區掃描電化學工作站軟件中的數據后處理分析工具，可以用來提取有效數據。這些工具分別為：“Tilt Correction”、“Filter”、“Curve Subtraction”、“Interpolate”。
盡管有這些強大的工具，用戶一定要牢記，獲得有效數據、減少噪聲的最好方法是適當的設置實驗。缺點是測試時間會比較長。
